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STHGEM300
300mm ツール用の SECS/GEM ソフトウェア ソリューション
ソリューションの概要
装置メーカーは、STHGEM300 SDK を使用して、300mm ウェーハ処理装置に必要な SEMI GEM300 準拠規格 (E39、E40、E87、E90、および E94) を実装しています。
半導体工場では、すべての 300 mm ツールがこれらの業界標準および工場固有のシナリオに準拠する必要があります。
STHGEM300 は、SEMI SECS/GEM E4、E5、E30、および E37 を実装するためのソフトウェア SDK である当社の主力製品である SecsToHost.Net に基づいて構築されています。 .NET ライブラリは、機器のコントローラ ソフトウェアに簡単に統合できます。
Additional Resources

architecture
SECSGEM Manual
SupportedStandard
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SEMI E4 - RS232
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SEMI E37 - HSMS
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SEMI E5 - SECS-II メッセージ仕様
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SEMI E30 - GEM
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SEMI E39 - オブジェクトサービス
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SEMI E87 - キャリア管理
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SEMI E90 - 基板トラッキング
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SEMI E40 - プロセスジョブ管理
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SEMI E94 - コントロールジョブ管理
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SEMI E116 - 機器性能追跡 (将来のリリース)
対応SEMI規格
特徴のハイライト
Request for Product Evaluation
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