STHGEM300
300mm ツール用の SECS/GEM ソフトウェア ソリューション
ソリューションの概要
装置メーカーは、STHGEM300 SDK を使用して、300mm ウェーハ処理装置に必要な SEMI GEM300 準拠規格 (E39、E40、E87、E90、および E94) を実装しています。
半導体工場では、すべての 300 mm ツールがこれらの業界標準および工場固有のシナリオに準拠する必要があります。
STHGEM300 は、SEMI SECS/GEM E4、E5、E30、および E37 を実装するためのソフトウェア SDK である当社の主力製品である SecsToHost.Net に基づいて構築されています。 .NET ライブラリは、機器のコントローラ ソフトウェアに簡単に統合できます。
Additional Resources
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SEMI E4 - RS232
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SEMI E37 - HSMS
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SEMI E5 - SECS-II メッセージ仕様
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SEMI E30 - GEM
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SEMI E39 - オブジェクトサービス
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SEMI E87 - キャリア管理
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SEMI E90 - 基板トラッキング
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SEMI E40 - プロセスジョブ管理
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SEMI E94 - コントロールジョブ管理
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SEMI E116 - 機器性能追跡 (将来のリリース)
対応SEMI規格
特徴のハイライト
GEM300 オブジェクトの簡単なモデリング
モデル ビルダーは、複数のロードポート、プロセス モジュール/チャンバー、関連する SVID、ECID、DVID、および CEID を自動的に生成する同時実行ジョブなどの GEM300 オブジェクトを簡単にモデル化できる構成ユーティリティです。
GEM300 マニュアル
簡単にできるGEM300オブジェクトのモデリングに加えて、当社のソリューションは、GEM E30、SEMI E87、E90、E40、E94などの標準をカバーする完全なドキュメントを生成します。生成されたドキュメントは WORD 形式であるため、特定のコンテンツを含めるようにさらに拡張することができます。
使いやすい API
STHGEM300 API は、複雑な 300mm 製造プロセスを簡素化するために慎重に設計されています。これらの API は、国際的な SEMATECH および SELETE 運用シナリオに準拠しています。
高度に自動化されたシームレスな統合
私たちの焦点は、開発コストを削減しながら、機器を迅速に市場に投入できるようにすることです。したがって、すべての複雑なプロセス、ステート マシンの移行、標準間の相互依存性が自動化され、アプリケーションに対してシームレスになります。