300mm ウェーハが開発される前は、SEMI SECS-II E5 および GEM E30 が、IC メーカーがウェーハ処理装置と通信および制御できるようにするための最初の標準でした。 より大きく重い 300 mm ウェーハと、より小さなチップ...

このガイドは、SECS/GEM の概要と基本的な紹介、および半導体業界でのその使用法を初心者に提供することを目的としています。また、標準の代替または完全な参照としての役割を果たすことは意図されていません。規格の完全なリファレンスについては、SEMI を参照してください。...